国家材料腐蚀与防护科学数据中心
National Materials Corrosion and Protection Data Center
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专项名称 : 政府间国际科技创新合作
项目名称 : 新型带有反向正脉冲的高功率脉冲磁控溅射技术开发高硬度无氢四面体非晶碳涂层-课题2(2)
项目编号 : 2019YFE0123900-004
说明 :

主要包括使用HiPIMS技术进行掺杂不同元素得到优异ta-C涂层性能研究,包括SEM、XPS、拉曼光谱、薄膜性能物理测试(硬度、摩擦磨损、结合力)、电化学测试数据。

英文说明 :

This section mainly includes the study of doping different elements using HiPIMS technology to obtain excellent ta-C coating performance, including SEM, XPS, Raman spectroscopy, physical testing of thin film properties (hardness, friction and wear, adhesion), and electrochemical testing data.

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