国家材料腐蚀与防护科学数据中心
National Materials Corrosion and Protection Data Center
中文 | Eng 数据审核 登录 反馈
名称 : 一种基于高功率脉冲磁控溅射技术的CrN/Cr2O3多层涂层及其制备方法
英文名称 : A preparation method for CrN/Cr2O3 multilayer coating based on high power pulse magnetron sputtering technology
类型 : 发明专利
发表日期 : 2023-09-12
摘要 :

本发明公开一种CrN/Cr2O3涂层的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、溅射CrN过渡层:将离子清洗后的基体停留在Cr靶之前,通过功率15kW的脉冲反应溅射获得CrN过渡层,得到溅射CrN过渡层的基体;S2、制备CrN/Cr2O3结构涂层:将步骤S1中溅射得到CrN过渡层的基体停留在Cr靶之前,通过功率15kW的脉冲反应溅射获得Cr2O3涂层,即得。本发明涂层兼具高硬度和低摩擦的优点,得到的多层涂层的硬度可达到25GPa以上,同时具有低于0.1的摩擦系数,能够弥补传统合金在刀具涂层使用中的不足,拓宽了刀具涂层的研究范围,同时本发明方法工艺简单、成本低、效率高。

英文摘要 :

The present invention discloses a preparation method for a CrN/Cr2O3 coating, characterized in that it comprises the following steps: S1. Sputtering a CrN transition layer: the ion cleaned substrate is left in front of the Cr target, and a CrN transition layer is obtained by pulsed reactive sputtering with a power of 15 kW to obtain the substrate of the sputtered CrN transition layer; S2. Preparation of CrN/Cr2O3 structural coating: The substrate of the CrN transition layer obtained by sputtering in step S1 is left in front of the Cr target, and the Cr2O3 coating is obtained by pulsed reactive sputtering with a power of 15kW. The coating of the present invention has the advantages of high hardness and low friction. The obtained multi-layer coating has a hardness of over 25GPa and a friction coefficient of less than 0.1, which can compensate for the shortcomings of traditional alloys in the use of tool coatings and broaden the research scope of tool coatings. At the same time, the method of the present invention has simple process, low cost, and high efficiency.

网址 : 暂无
领域 : 表面工程科学
出版公司 : 国家知识产权局
出版国家 : CN
专利号 : CN 116732469 A
是否授权 :
附件下载
重点项目名称 : 新型带有反向正脉冲的高功率脉冲磁控溅射技术开发高硬度无氢四面体非晶碳涂层-课题2(2)
项目所属数据集 : 2019YFE0123900-004数据集

关于国家科技资源服务平台

国家科技基础条件平台中心是科技部直属事业单位,致力于推动科技资源优化配置,实现开放共享,其主要职责是:承担国家科技基础条件平台建设项目的过程管理和基础性工作;承担国家科技基础条件平台建设发展战略、规范标准、管理方式、运行状况和问题的研究,以及国际合作与宣传、培训等工作;承担科技基础条件门户系统的建设与运行管理工作;参与对在建和已建国家科技基础条件平台项目的考核评估和运行监督工作。

国家科技资源服务平台相关网站


国家材料腐蚀与防护科学数据中心

国家高能物理科学数据中心

国家基因组科学数据中心

国家微生物科学数据中心

国家空间科学数据中心

国家天文科学数据中心

国家对地观测科学数据中心

国家极地科学数据中心

国家青藏高原科学数据中心

国家生态科学数据中心

国家冰川冻土沙漠科学数据中心

国家计量科学数据中心

国家地球系统科学数据中心

国家人口健康科学数据中心

国家基础学科公共科学数据中心

国家农业科学数据中心

国家林业和草原科学数据中心

国家气象科学数据中心

国家地震科学数据中心

国家海洋科学数据中心