国家材料腐蚀与防护科学数据中心
National Materials Corrosion and Protection Data Center
中文 | Eng 数据审核 登录 反馈
名称 : 一种基于高功率脉冲磁控溅射技术的TiCN涂层及其制备方法
英文名称 : A preparation method for TiCN coating based on high power pulse magnetron sputtering technology
类型 : 发明专利
发表日期 : 2023-06-30
摘要 :

本发明公开一种TiCN涂层的制备方法,包括以下步骤:S1、将金属基体抛光处理,再超声清洗,然后进行离子轰击,得到清洗后的基体;S2、将清洗后的基体置停留在Ti靶之前,通过功率20kW的脉冲反应,溅射获得TiN过渡层;S3、将溅射TiN过渡层后的基体停留在Ti靶之前,通过功率20kW脉冲反应,溅射TiCN过渡层;S4、将溅射TiCN过渡层后的基体停留在Ti靶之前,通过功率20kW脉冲反应,溅射TiCN顶层硬度层。本发明得到的TiCN涂层涂层的硬度可达到35GPa以上,同时具有低于0.1的摩擦系数,具有较好的润滑性能,拓宽了刀具涂层的研究范围,可以在复杂的切削环境下工作。

英文摘要 :

The present invention discloses a preparation method for TiCN coating, comprising the following steps: S1, polishing the metal substrate, ultrasonic cleaning, and then conducting ion bombardment to obtain the cleaned substrate; S2. Place the cleaned substrate in front of the Ti target, which obtain a TiN transition layer by sputtering through a pulse reaction with a power of 20kW; S3. Staying the substrate after sputtering the TiN transition layer in front of the Ti target, sputtering the TiCN transition layer through a pulse reaction with a power of 20kW; S4. The substrate after sputtering the TiCN transition layer remains in front of the Ti target, and the top hardness layer of TiCN is sputtered through a 20kW pulse reaction. The hardness of the TiCN coating obtained by the present invention can reach over 35GPa, while having a friction coefficient below 0.1, good lubrication performance, and expanding the research scope of tool coatings, which can work in complex cutting environments.

网址 : 暂无
领域 : 表面工程科学
出版公司 : 国家知识产权局
出版国家 : CN
专利号 : CN 116356255 A
是否授权 :
附件下载
重点项目名称 : 新型带有反向正脉冲的高功率脉冲磁控溅射技术开发高硬度无氢四面体非晶碳涂层-课题2(2)
项目所属数据集 : 2019YFE0123900-004数据集

关于国家科技资源服务平台

国家科技基础条件平台中心是科技部直属事业单位,致力于推动科技资源优化配置,实现开放共享,其主要职责是:承担国家科技基础条件平台建设项目的过程管理和基础性工作;承担国家科技基础条件平台建设发展战略、规范标准、管理方式、运行状况和问题的研究,以及国际合作与宣传、培训等工作;承担科技基础条件门户系统的建设与运行管理工作;参与对在建和已建国家科技基础条件平台项目的考核评估和运行监督工作。

国家科技资源服务平台相关网站


国家材料腐蚀与防护科学数据中心

国家高能物理科学数据中心

国家基因组科学数据中心

国家微生物科学数据中心

国家空间科学数据中心

国家天文科学数据中心

国家对地观测科学数据中心

国家极地科学数据中心

国家青藏高原科学数据中心

国家生态科学数据中心

国家冰川冻土沙漠科学数据中心

国家计量科学数据中心

国家地球系统科学数据中心

国家人口健康科学数据中心

国家基础学科公共科学数据中心

国家农业科学数据中心

国家林业和草原科学数据中心

国家气象科学数据中心

国家地震科学数据中心

国家海洋科学数据中心