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专项名称 : 国家重点研发计划
项目名称 : 高端集成电路关键材料Cu-Ni-Si合金带材短流程低成本生产关键技术开发与应用
项目编号 : 2020YFB0311100
说明 :

本项目针对高端集成电路引线框架高性能带材国产化自主保障的迫切需求,开发适合于国际先进Cu-Ni-Si合金带材的高质量、短流程、低成本生产新工艺,突破工业化生产关键技术,形成具有自主知识产权的成套技术,实现工业化规模生产与应用,实现替代进口。采用集成计算材料工程(ICME)和数据驱动等方法快速高效优化合金成分,提升Cu-Ni-Si合金的力学和导电等综合性能,研发出高端集成电路用高强高导Cu-Ni-Si合金材料,抗拉强度达到922MPa、屈服强度达到831MPa、导电率达到45%。开发了Cu-Ni-Si合金带材高质量、短流程、低成本生产新工艺,突破了宽幅高质量Cu-Ni-Si合金带材大吨位坯料控制凝固水平连铸短流程工业化生产过程缺陷消除和组织均匀性、稳定性控制技术,及水平连铸、轧制和热处理等生产关键装备等工艺与装备关键技术,铸坯单卷最大重量达到8吨,与传统生产工艺相比,工艺流程缩短了38.9%,能耗降低35.5%,成材率从54.6%提高到75.8%。建成了年产能达到1万吨的Cu-Ni-Si合金带材“HCCM水平连铸-冷轧-热处理”短流程低成本产业化生产线,实现了工业化规模生产。开发出宽度≥600mm、单卷重量达到6吨的高端集成电路用Cu-Ni-Si合金带材产品,实现了高端Cu-Ni-Si合金带材的自主研制和在高端集成电路等领域的批量应用。2022年1-10月销售带材2400余吨,替代进口产品1450余吨(占比60%),累计实现销售收入1.8亿元,利润2000万元,经济社会效益显著。项目成果推动了高性能铜合金加工行业技术进步与产业升级,为我国战略性新兴产业的创新发展提供了重要支撑。

英文说明 :

Aiming at the urgent need of independent guarantee of high performance strip of high-end integrated circuit lead frame, this project develops a new production process of high quality, short flow and low cost suitable for international advanced Cu-Ni-Si alloy strip, breaks through the key technology of industrial production, forms a complete set of technology with independent intellectual property rights, realizes industrial scale production and application, and replaces imports. By adopting integrated computational materials engineering (ICME) and data-driven methods, high strength and high conductivity Cu-Ni-Si alloy materials for high-end integrated circuits have been developed. The tensile strength is 922MPa, yield strength is 831MPa, and conductivity is 45%. A new production process of high quality, short flow and low cost for Cu-Ni-Si alloy strip has been developed, which breaks through the defect elimination and microstructure uniformity control problem of large-tonnage billet. The maximum weight of a single roll of casting billet reaches 8 tons. Compared with the traditional production process, the process is shortened by 38.9%, the energy consumption is reduced by 35.5%, and the yield of finished material is increased from 54.6% to 75.8%. A short process and low cost industrialization production line of "HCCM horizontal continuous casting - cold rolling - heat treatment" for Cu-Ni-Si alloy strip with an annual output of 10,000 tons has been built, realizing the industrial scale production. Cu-Ni-Si alloy strip products for high-end integrated circuits with width≥600mm and single coil weight up to 6 tons have been developed. From January to October 2022, more than 2,400 tons of strips were sold, and more than 1,450 tons of imported products were replaced (60% of the total). The cumulative sales revenue was 180 million yuan, the profit was 20 million yuan, and the economic and social benefits were remarkable. The results of the project have promoted the technological progress and industrial upgrading of the high performance copper alloy processing industry, and provided important support for the innovative development of China's strategic emerging industries.

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