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名称 : 两种钼靶材溅射钼薄膜的组织性能研究
发表日期 : 2018-06-08
摘要 :

将两种不同微观组织的钼靶材在同样的溅射工艺下进行薄膜溅射，通过溅射后钼靶材和钼溅射薄膜的表面形貌观察以及钼薄膜厚度、方阻及结晶取向的测试，探讨了靶材微观组织对薄膜性能的影响。结果表明，靶材的微观组织对钼薄膜的性能有着较大的影响，晶粒组织细小均匀的钼靶材有助于钼薄膜沉积速率的提高，同时有利于组织均匀、表面平整以及厚度和方阻分布均匀的钼薄膜的形成；两种钼靶材溅射形成的钼薄膜均呈现明显的(110)择优取向，钼靶材微观组织的差异对溅射薄膜的结晶取向没有显著的影响。

网址 : https://www.hanspub.org/journal/PaperInformation.aspx?paperID=25333
领域 : 粉末冶金
出版公司 : 材料科学
出版国家 : CN
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重点项目名称 : 大尺寸高纯稀有金属制品制备技术-大尺寸高纯稀有金属材料高温高压烧结、变形加工技术及产业化数据集
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