采用真空电弧熔炼炉制备了新型（Co40Cr25(FeNi)31Mo4）99⋅5C0.5 HEA（高熵合金），1100℃下热轧还原率为20%，冷轧还原率为~ 50%，然后分别在800、850、900、950、1000和1100℃退火6 min。系统分析了退火对HEAs组织演变和力学性能的影响。结果表明，在不同的退火温度下，HEAs仍保持单一的FCC（面心立方）晶体结构。随着退火温度的升高，异常晶粒的面积逐渐减小，最终形成等轴晶。较低温度（800℃）退火可形成纳米级和亚微米级的M23C6碳化物，抑制了晶粒的再结晶，与其他退火HEAs相比，抗拉强度达到~1352 MPa，延伸率降低~ 37%。而当退火温度升高到1100℃时，M23C6析出物的数量减少。此时合金组织由再结晶晶粒和大量退火孪晶组成，抗拉强度降至~1062 MPa，伸长率提高至~ 85%。由于退火孪晶效应和晶粒细化，1100◦C退火HEA的强度-塑性平衡（TS × EL）达到~90.3 GPa%，而800◦C退火HEA的强度-塑性平衡（TS × EL）仅为~50 GPa%。1100◦C退火HEA具有优异的综合机械性能，优于大多数HEAs和传统金属合金。