高速钢表面类金刚石薄膜(DLC)的沉积效率和结合力问题影响着其在切削刀具领域的应用。本文基于空心阴极原理,结合等离子体增强化学气相沉积技术(PECVD)在高速钢表面制备类金刚石薄膜,在CH4:C2H2=1:3气体比例下研究掺氮处理对DLC薄膜结合力和耐磨性能的影响。结果表明,通N2条件下可提高DLC薄膜的沉积效率,改善膜结构。随着DLC膜掺氮量增加,薄膜中sp3键含量、摩擦系数均呈现先增大后减小的趋势。当10%N2处理DLC薄膜厚度可达1543nm,结合力可由HF4等级提高到HF2等级,摩擦系数低至0.139,有效地改善了DLC膜耐磨性。