硬质合金表面沉积四面体非晶碳膜(ta-C薄膜)的结合力和摩擦性能影响着其在切削刀具和耐磨零部件领域的应用效果。本文基于高功率脉冲磁控溅射技术（HiPIMS）制备了ta-C薄膜，通过C₂H₂流量对ta-C薄膜进行了改性研究。利用SEM对厚度进行观察，通过拉曼和XPS对结构进行研究，通过纳米压痕对硬度进行表征,通过纳米划痕对薄膜的结合力进行研究并通过摩擦磨损对耐磨性进行探究。结果表明，通入C₂H₂气体可有效改善ta-C薄膜的结构、硬度、结合力和耐磨性能。改变C₂H₂流量调控ta-C薄膜的性能，随着C₂H₂流量的逐渐增大薄膜的各项性能呈现先增大后减小的趋势，当C₂H₂流量为15sccm时，薄膜的各项性能都达到较为优异的结果，taC薄膜厚度达655.9nm，硬度提高到43.633GPa，结合力提升到21.2N，此时sp3键含量为70.19%，ta-C薄膜表面均匀、致密，且性能优良。