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名称 : 具有超高灵敏度的多尺寸平面电容式压力传感器
发表日期 : 2021-05-26
摘要 :

电容式压力传感器对未来的机器人技术、人机界面、人工智能和健康监测设备具有潜在的好处。传统的堆叠结构包括相邻电极层之间的中间电介质层,通常拥有相当大的设备厚度和尺寸,因此对适用规模造成了限制。本研究开发了一种没有集成弹性电介质层的平面结构压力传感器,通过外部触摸刺激引起的相邻电极之间的新兴电荷交换通道实现了超高的灵敏度。每个像素可以在几微米的范围内制造,0.02帕的微小压力将导致相对电容增加750%(0-0.05帕的等效灵敏度为3.75 × 105 kPa-1,超过了迄今为止所有的先前报告)。我们对工作机制进行了定量研究,并证明其适用于宏观尺寸的设备。

网址 : https://doi.org/10.1016/j.nanoen.2021.106178
领域 : 机器人技术
出版公司 : ELSEVIER
出版国家 : NL
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重点项目名称 : 工业机器人智能故障诊断及健康评估系统
项目所属数据集 : 工业机器人关键部件与整机动力学测试数据集

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