国家材料腐蚀与防护科学数据中心
National Materials Corrosion and Protection Data Center
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专项名称 : 政府间国际科技创新合作
项目名称 : 新型带有反向正脉冲的高功率脉冲磁控溅射技术开发高硬度无氢四面体非晶碳涂层-课题2(1)
项目编号 : 2019YFE0123900-003
说明 :

主要包括HiPIMS电源的设计研究及HiPIMS电源的各项参数对ta-C薄膜性能研究两个部分,包括SEM、XPS、拉曼光谱、薄膜性能物理测试(硬度、摩擦磨损、结合力)、电化学测试数据。

英文说明 :

This section mainly includes two parts: the design research of HiPIMS power supply and the study of the various parameters of HiPIMS power supply on the performance of ta-C film, including SEM, XPS, Raman spectroscopy, physical testing of film performance (hardness, friction and wear, adhesion), and electrochemical testing data.

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