名称 : 不同偏压和频率沉积ta-C的电镜检测
英文名称 : SEM,bias,frequency
材料 : 1649
委托单位 : 科学指南针
实验单位 : 科学指南针
实验方法 : SEM和TEM
实验设备 : SEM和TEM
实验条件 : 室温
说明 : SEM,主要为HiPIMS不同电参数制备ta-C样品试验样品扫描电镜图片原始文件等
英文说明 : SEM, mainly for HiPIMS different electrical parameters to prepare ta-C sample test sample scanning electron microscope image file
重点项目名称 : 新型带有反向正脉冲的高功率脉冲磁控溅射技术开发高硬度无氢四面体非晶碳涂层-课题2(1)
项目所属数据集 : 2019YFE0123900-003数据集