国家材料腐蚀与防护科学数据中心
National Materials Corrosion and Protection Data Center
中文 | Eng 数据审核 登录 反馈
名称 : 集成电路用钨溅射靶材制备技术的研究进展
英文名称 : Research progress of tungsten sputtering target preparation technology for integrated circuits
材料 : 745
委托单位 : 厦门虹鹭钨钼工业有限公司
实验单位 : 厦门虹鹭钨钼工业有限公司
实验方法 : 冷等静压压型、烧结、热等静压、热轧、退火、机加工来制备钼靶材
实验设备 : 热等静压机
实验条件 : 真空下热等静压
说明 :

主要归纳了钨靶材主要的制备手段（以热等静压和热轧为主的各种热机械工艺的组合）,并分析了各工艺路径的特点,最后预测了钨靶材制备技术的发展趋势,认为进一步控制钨靶材制备过程中的晶粒尺寸和降低钨薄膜的电阻率将成为未来重要的研究内容。

英文说明 :

This paper mainly summarizes the main preparation methods of tungsten target (the combination of various thermomechanical processes dominated by hot isostatic pressing and hot rolling), analyzes the characteristics of each process path, and finally predicts the development trend of tungsten target preparation technology. It is considered that further controlling the grain size and reducing the resistivity of tungsten film will become important research contents in the future.

数据来源 : 学术期刊
附件下载
重点项目名称 : 大尺寸高纯稀有金属制品制备技术-超高纯稀有金属材料精密制备技术数据集
材料
委托单位
实验单位
实验方法
实验设备
实验条件
数据来源
重点项目名称
网站导航 | 版权声明 | 法律法规 | 联系我们
版权所有：国家材料环境腐蚀平台 京ICP备13025191号 京公网安备11010802026268号

关于国家科技资源服务平台

国家科技基础条件平台中心是科技部直属事业单位，致力于推动科技资源优化配置，实现开放共享，其主要职责是：承担国家科技基础条件平台建设项目的过程管理和基础性工作；承担国家科技基础条件平台建设发展战略、规范标准、管理方式、运行状况和问题的研究，以及国际合作与宣传、培训等工作；承担科技基础条件门户系统的建设与运行管理工作；参与对在建和已建国家科技基础条件平台项目的考核评估和运行监督工作。

国家科技资源服务平台相关网站


国家材料腐蚀与防护科学数据中心
国家高能物理科学数据中心
国家基因组科学数据中心
国家微生物科学数据中心
国家空间科学数据中心

国家天文科学数据中心
国家对地观测科学数据中心
国家极地科学数据中心
国家青藏高原科学数据中心
国家生态科学数据中心

国家冰川冻土沙漠科学数据中心
国家计量科学数据中心
国家地球系统科学数据中心
国家人口健康科学数据中心
国家基础学科公共科学数据中心

国家农业科学数据中心
国家林业和草原科学数据中心
国家气象科学数据中心
国家地震科学数据中心
国家海洋科学数据中心