名称 : 多元硅合金靶材产品技术报告
英文名称 : Technical report on multi silicon alloy target products
材料 : 659
委托单位 : 有研半导体材料有限公司
实验单位 : 有研亿金新材料有限公司
实验方法 : 多元硅合金靶材的粉末制备
实验设备 : 计算机
实验条件 : 调研多元硅合金靶材制备工艺,撰写技术报告
说明 : 多元硅合金靶材的粉末制备、合金成型和靶坯与背板焊接工艺技术报告及产品技术报告。
英文说明 : Technical report on powder preparation, alloy forming and welding process between target and backplane of multi silicon alloy target and product technical report.
数据来源 : 分析测试报告
重点项目名称 : 大尺寸高纯稀有金属制品制备技术-超高纯稀有金属材料精密制备技术数据集