名称 : 硅部件腐蚀工艺计算机模拟
英文名称 : Computer simulation of silicon component corrosion process
材料 : 659
委托单位 : 有研半导体材料有限公司
实验单位 : 有研半导体材料有限公司
实验方法 : 计算机模拟硅部件腐蚀过程中的均匀性
实验设备 : 计算机
实验条件 : 通过计算机模拟改善混酸中硅部件制品腐蚀的均匀性
英文说明 : Computer simulation of uniformity during corrosion of silicon components.
数据来源 : 学术期刊
重点项目名称 : 大尺寸高纯稀有金属制品制备技术-超高纯稀有金属材料精密制备技术数据集