名称 : 不同功率Si靶作用下涂层磨痕三维轮廓图
英文名称 : Three-dimensional contour of the coating wear scar under different power Si targets
材料 : 2164
委托单位 : 西安工业大学
实验单位 : 西安工业大学
实验方法 : 白光干涉
实验设备 : 白光干涉仪
实验条件 : 无条件
说明 : 本数据展示了在不同Si靶溅射功率下的高熵氮化物薄膜,其各自经过摩擦磨损实验后的磨痕白光干涉图样。
英文说明 : This data shows the white light interference patterns of the wear scars of high-entropy nitride films after friction and wear experiments under different sputtering powers of the Si target.
数据来源 : 分析测试报告
重点项目名称 : 离子轰击条件下反应磁控沉积高熵合金氮化物薄膜技术研究与开发
项目所属数据集 : 2022YFE0122900分析测试报告数据集