名称 : 不同C靶功率,温度,负偏压溅射下薄膜XRD谱图
英文名称 : XRD patterns of thin films sputtered at different C target powers.
材料 : 2164
委托单位 : 西安工业大学
实验单位 : 西安工业大学
实验方法 : XRD测试
实验设备 : XRD
实验条件 : 洁净无尘
说明 : 本数据描绘了在不同C靶功率下、不同温度下以及不同负偏压的情况下,溅射的高熵氮化物薄膜的XRD谱图。
英文说明 : This data depicts the XRD patterns of high-entropy nitride films sputtered under different C target powers, temperatures, and negative bias voltages.
数据来源 : 分析测试报告
重点项目名称 : 离子轰击条件下反应磁控沉积高熵合金氮化物薄膜技术研究与开发
项目所属数据集 : 2022YFE0122900分析测试报告数据集