国家材料腐蚀与防护科学数据中心
National Materials Corrosion and Protection Scientific Data Center
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名称 : 设备检测报告
英文名称 : Equipment test report
材料 : 431
委托单位 : 方圆检测认证集团有限公司
实验单位 : 西安工业大学
实验方法 : 无方法
实验设备 : 离子源复合磁控溅射样机
实验条件 : 高真空环境
说明 :

本项目研究开发了离子源复合磁控溅射样机,委托方圆检测认证集团有限公司对设备参数进行测试评价。各项指标已达到项目预期。

英文说明 :

In this project, the ion source composite magnetron sputtering prototype was researched and developed, and Fangyuan Testing and Certification Group Co., Ltd. was commissioned to test and evaluate the equipment parameters. All the indicators have reached the project expectation.

数据来源 : 分析测试报告
附件下载
重点项目名称 : 离子轰击条件下反应磁控沉积高熵合金氮化物薄膜技术研究与开发
项目所属数据集 : 2022YFE0122900分析测试报告数据集

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