标准号 : T/DLSHXH001-2018
名称 : 电子工业用气体 氨
发布日期 : 2018-09-08
执行日期 : 2018-09-18
简介 : 本标准规定了电子工业用气体氨的技术要求、试验方法、检验规则和产品包装等要求。适用于以工业氨为原料,采用吸附、精馏方法提纯得到的电子工业用气体氨。
网址 : http://www.ttbz.org.cn/StandardManage/Detail/23801/
重点项目名称 : 第三代半导体核心配套材料- 面向第三代半导体的超高纯度有机源及氮源的关键制备技术数据集