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标准号 : 20194172-T-469
名称 : 刻蚀机用硅电极及硅环
发布日期 : 2018-04-04
执行日期 : 2020-01-13
简介 :

本标准规定了刻蚀机用硅电极及硅环（简称硅部件）的术语和定义，产品分类，要求，取样，试验方法，检验规则。适用于直拉法制备的p<100>，直径为（200~400）mm的圆柱形硅单晶，经加工成刻蚀机用硅电极及硅环，产品用于（200-300）mm的等离子刻蚀机。

网址 : 暂无
重点项目名称 : 大尺寸高纯稀有金属制品制备技术-超高纯稀有金属材料精密制备技术数据集
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