通过研究金属钼(Mo)在真空环境下蒸发速率和饱和蒸气压与温度的关系,探讨了蓝宝石单晶炉Mo隔热屏内胆的损坏机理.结果表明,蓝宝石单晶炉的核心工作温度在2100℃以上,每炉的高温阶段时间超过120 h,隔热屏内胆在高真空环境下产生蒸发,由电子显微结构可以看到Mo片表面疏松、多孔,厚度逐渐变薄、剥落,失去隔热作用.利用金属高温环境下的蒸发速率、饱和蒸气压和工作时间推算出金属因蒸发而造成的厚度变化公式,由公式测算出来蓝宝石单晶炉的隔热屏内胆变薄的趋势与实际使用寿命相吻合.由于金属钨(W)的熔点比钼更高,利用该公式可以测算出W在蓝宝石单晶炉最严苛的工作条件下几乎不会蒸发变薄,是一种理想的隔热屏内胆替代品.