氢氟酸是一种弱无机酸，在空气中挥发，其蒸汽具有强烈的腐蚀性及毒性。但其溶解氧化物的速率快。1968年氢氟酸酸洗首次在西德的一台运行后的超临界压力锅炉上使用获得成功。此后，西德有40%的锅炉都采用氢氟酸酸洗。虽然用氢氟酸酸洗存在操作不安全、价格高及污染环境的弊端。但从氢氟酸的特性考虑，应用了新型缓蚀剂后，它的使用范围仍然很广泛。

 国外研制的氢氟酸酸洗缓蚀剂多含有机胺类化合物，如西德研制的烷基硫脲和有机胺复配的Berin D-31、Berin 0-74、Rodine-31A、Rodine-58、Dodigen-95、Fiumin-34;美国专利报道用含活泼氢的有机胺与α-酮或α-醛的缩合物做氢氟酸缓蚀剂。国内生产的品种有IMC-5、Lan-826、SH416、SH406、N-1-A、W-19、BH-2、F-102、新洁尔灭等缓蚀剂，这些缓蚀剂经过试验和大型机组的实际使用，证明其对10CrMo910 的缓蚀效率均可达到98%以上，腐蚀速率可控制在0.318 g/（m2·h），这些缓蚀剂已在氢氟酸酸洗中广泛使用。