利用红外光谱可以对物质分子进行分析和鉴定。其工作原理是将一束不同波长的红外射线照射到物质的分子上，某些特定波长的红外射线被吸收，形成这一分子的红外吸收光谱。每种分子都有由其组成和结构决定的独有的红外吸收光谱，据此可以对分子进行结构分析和鉴定。红外吸收光谱是由分子不停地作振动和转动运动而产生的，分子振动是指分子中各原子在平衡位置附近作相对运动，多原子分子可组成多种振动图形。当分子中各原子以同一频率、同一相位在平衡位置附近作简谐振动时，这种振动方式称简正振动（例如伸缩振动和变角振动）。分子振动的能量与红外射线的光量子能量正好对应，因此当分子的振动状态改变时，就可以发射红外光谱，也可以因红外辐射激发分子而振动而产生红外吸收光谱。分子的振动和转动的能量不是连续而是量子化的。但由于在分子的振动跃迁过程中也常常伴随转动跃迁，使振动光谱呈带状。所以分子的红外光谱属带状光谱。分子越大，红外谱带也越多。在缓蚀剂的研究中，红外光谱法可以用于缓蚀剂的使用过程中产物成分或组分的变化分析、合成过程中物质的结构分析。中红外光谱区（波长2.5-25μm）常用于官能团与化合物结构测定及定性分析；近红外光谱区（波长0.8-2.5μm）主要用于含羟基或氨基化合物、配位化合物的分析。

研究物质在紫外、可见光区的分子吸收光谱的分析方法称为紫外-可见分光光度法。这种分子吸收光谱产生于价电子和分子轨道上的电子在电子能级间的跃迁，因此又称为电子光谱。紫外光谱可以用于表征或分析缓蚀剂的结构组分。与红外光谱及核磁共振等方法结合，能够准确的反映出合成产物的组分。