石英晶体微天平是基于石英晶体的压电效应对其电极表面质量变化进行测量的仪器，是以AT切石英晶体作为接受器和能量转换器，利用石英的压电性质实现能量转换和传感的。石英晶体属D3点群、三方晶系洁净的各向异性体，具有X轴（电轴）Y轴（机械轴）Z轴（光轴）三个结晶轴。在X轴或Y轴方向施加压力或拉力，晶体由于形变极化而在相应的晶面上产生等量的正、负电荷（加压与拉伸产生的电荷极性相反），在Z轴方向施加外力，因硅、氧离子作对称平移，无电荷形成，这就是石英晶体的正压电效应。反过来，当晶片上加上电场则在晶体某些方向出现应变，这种应变与电场强度间存在线性关系，如果电场是交变电场，则在晶格内引起机械震荡，震荡的频率即晶体的固有频率与震荡电路的频率一致时，便产生共振，此时振荡最稳定，测出电路的振荡频率便可得出晶体的固有频率。石英是具有压电性质的物质之一，当外加交变电压的频率为某一特定频率时，石英晶片振幅会急剧增加，这就是压电谐振。QCM即是根据这种原理设计出来的。