名称 : 21h其他杂质含量分析
英文名称 : Analysis of other impurities in 21h
材料 : 1076
委托单位 : 大连保税区科利德化工科技开发有限公司
实验单位 : 大连保税区科利德化工科技开发有限公司
实验方法 : 气相色谱法
实验设备 : 气相色谱仪
实验条件 : 常温
说明 : H2<0.01,N2=0.03,CH4<0.01
英文说明 : H2<0.01,N2=0.03,CH4<0.01
数据来源 : 检测数据
重点项目名称 : 第三代半导体核心配套材料- 面向第三代半导体的超高纯度有机源及氮源的关键制备技术数据集