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名称 : 一种高纯氮源制备方法
英文名称 : Preparation method of high-purity nitrogen source
类型 : 发明专利
发表日期 : 2020-12-01
摘要 :

本发明公开了一种高纯氮源制备方法,包括步骤一,原料准备;步骤二,液态脱氧;步骤三,杂质处理;步骤四,氮源除尘;步骤五,存储放置;其中在上述步骤一中,人工根据国外超高纯氮指标选取高纯氮原料气,并将高纯氮原料气存放在低温气罐内部;检测高纯氮原料气,过滤杂质,并将其震荡,随后静置存储;该一种高纯氮源制备方法,操作简单,成本低,采用高纯氮原料气作为原料,进行脱氧、脱氢、脱水与除尘制成高纯氮源,摒弃传统精馏操作,保证高纯氮源的纯度,有利于高纯氮源制备,节约资源,减少操作人员,省时省力,且该发明工艺简单严谨,效果显著,材料便宜成本低廉,大大节约了成本,有利于加工与生产。

英文摘要 :

The invention discloses a preparation method of a high-purity nitrogen source. The preparation method comprises the following steps of: 1, preparation of raw materials; 2, liquid deoxidation; 3, impurity treatment; 4, nitrogen source dust removal; and 5, storage and placement. In the step 1, high-purity nitrogen raw material gas is manually selected according to foreign ultrahigh-purity nitrogen indexes, and the high-purity nitrogen raw material gas is stored in a low-temperature gas tank; and the high-purity nitrogen raw material gas is detected, impurities are filtered, and the high-purity nitrogen raw material gas is oscillated and then stands for storage. The preparation method of the high-purity nitrogen source is simple to operate and low in cost, the high-purity nitrogen source is prepared from high-purity nitrogen raw material gas as a raw material through deoxidation, dehydrogenation, dehydration and dust removal, traditional rectification operation is abandoned, the purity of the high-purity nitrogen source is guaranteed, preparation of the high-purity nitrogen source is facilitated, resources are saved, operators are reduced, time and labor are saved, the process is simple and rigorous, the effect is remarkable, materials are cheap, the cost is low, cost is greatly saved, and machining and production are facilitated.

网址 : http://www.soopat.com/Patent/202011372530
领域 : 新材料
出版公司 : 中国国家知识产权局
出版国家 : CN
专利号 : CN202011372530.0
是否授权 :
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重点项目名称 : 第三代半导体核心配套材料- 面向第三代半导体的超高纯度有机源及氮源的关键制备技术数据集

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